기존 서비스 그 이상의 서비스를 제공해드리는 에이온 주식회사를 소개합니다.
Plasma Cleaner 01
강력한 성능의
Downstream Plasma Cleaner
혁신적인 기술로 전통적인 방식의 플라즈마 클리너보다 10~20배 이상 빠르게
hydrocarbon을 제거할 수 있는 ibss Group의 GV10x Downstream Asher를
소개합니다.
GV10x Downstream Ahser의 Hydrocarbon 제거율은 30w 기준 15nm / min
입니다. GV10x는 Sputtering 및 Heating으로부터 자유롭습니다. 또한 작동시
0.5mbar~5.0e-10-4mbar의 고진공 영역에서 hydrocarbon을 TMP의 속도저하
없이 안전하게 제거해줍니다.
이제 GV10x로
시간과 비용을 절약해보세요.
GV10x는 시간과 비용을 줄이는데 있어 이미 결과가 입증 되었습니다.
Hydrocarbon-Free를 위해 GV10x Plasma Cleaner는 SEM, FIB
그리고 TEM에 반드시 필요한 제품입니다.
2가지 옵션의 Controller를
제공하고 있습니다.
에이온 주식회사는 사용자 환경에 적합한 GV10x 플라스마 소스의 동력을
공급하고 운영하기 위해 두가지 종류의 콘트롤러를 제공하고 있습니다.
BT콘트롤러 와 2U콘트롤러 중 원하시는 것을 선택하실 수 있습니다.
controller OPtion 01
Benchtop
H×W×D - 173 × 209 × 439mm (6.81 × 8.2 × 17.25")
Weight - 16 lbs. / 7.3kg
controller option 02
2U Rackmount
H×W×D - 89 × 432 × 374mm) (3.5 × 17 × 4.7")
Weight - 17lbs / 7.7kg
GV10x P5 source
· 작동 가능 압력 : 2.0 Torr ~ 5mTorr
· 확장 된 전력 범위 : 5-99 Watts RF Power
· 매우 높은 세척 효율성 및 균일성
· 전통적인 방식의 Plasma Cleaner보다 10배 ~ 20배까지 빠르게 오염 감소
· TMP Full Speed에서 전체기능사용
· 초 단위로 제어가능
· No Heating, Sputtering or Etching
